Semi-conducteurs

Mesure non-intrusive sans contact avec le fluide

Semi-conducteurs

Mesure non-intrusive sans contact avec le fluide
Environnement de production semi conducteur en salle blanche avec équipements automatisés et lignes de fabrication en arrière plan, intégrant un débitmètre ultrason non intrusif de type clamp on monté sur une conduite pour réaliser une mesure de débit non intrusif des circuits d’eau ultrapure ou de fluides de process sans contact direct avec le fluide.
Dans l’industrie des semi-conducteurs, la propreté absolue et la maîtrise des fluides ultra purs sont des conditions indispensables au bon déroulement de la production. C’est pourquoi la technologie de mesure non intrusive par ultrasons s’impose comme une solution idéale. Les capteurs se fixent directement à l’extérieur des conduites et n’entrent jamais en contact avec les liquides en circulation, ce qui élimine tout risque de contamination et garantit une conformité totale avec les exigences des salles blanches. Cette approche présente un autre avantage déterminant : l’absence d’usure liée aux fluides agressifs utilisés dans les étapes de décapage ou de nettoyage, tels que les acides et solutions chimiques spécifiques. La fiabilité reste constante, même sur des installations fonctionnant en continu. Des systèmes de mesure spécialement conçus pour les environnements sensibles permettent également d’équiper des conduites rigides comme des flexibles, tout en assurant une précision élevée, notamment pour les très faibles débits indispensables aux process de microfabrication. Les solutions d’analyse de process associées, basées sur l’ultrason ou l’optique, permettent de suivre en temps réel la concentration des liquides employés dans les différentes phases de fabrication des circuits imprimés. Cela contribue à optimiser les procédés, à réduire les risques d’erreur et à garantir une qualité constante du produit final.

AVANTAGES POUR LE SECTEUR SEMI-conducteurs

Protection des fluides ultra purs en salle blanche

Aucun contact avec produits critiques.

Mesure très haute précision à faible débit

Adaptée aux procédés de gravure et de nettoyage.

Compatibilité avec matériaux plastiques techniques (PFA, PVDF)

Fonctionne sur conduites spécifiques à l’industrie microélectronique.

Surveillance continue des procédés avancés

Permet un contrôle fin des variations chimiques.

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