Dans l’industrie des semi-conducteurs, la propreté absolue et la maîtrise des fluides ultra purs sont des conditions indispensables au bon déroulement de la production. C’est pourquoi la technologie de mesure non intrusive par ultrasons s’impose comme une solution idéale. Les capteurs se fixent directement à l’extérieur des conduites et n’entrent jamais en contact avec les liquides en circulation, ce qui élimine tout risque de contamination et garantit une conformité totale avec les exigences des salles blanches. Cette approche présente un autre avantage déterminant : l’absence d’usure liée aux fluides agressifs utilisés dans les étapes de décapage ou de nettoyage, tels que les acides et solutions chimiques spécifiques. La fiabilité reste constante, même sur des installations fonctionnant en continu. Des systèmes de mesure spécialement conçus pour les environnements sensibles permettent également d’équiper des conduites rigides comme des flexibles, tout en assurant une précision élevée, notamment pour les très faibles débits indispensables aux process de microfabrication. Les solutions d’analyse de process associées, basées sur l’ultrason ou l’optique, permettent de suivre en temps réel la concentration des liquides employés dans les différentes phases de fabrication des circuits imprimés. Cela contribue à optimiser les procédés, à réduire les risques d’erreur et à garantir une qualité constante du produit final.
AVANTAGES POUR LE SECTEUR SEMI-conducteurs
Pureté maximale
Aucun contact avec les fluides ultra purs, éliminant tout risque de contamination et garantissant une qualité irréprochable des procédés en salle blanche.
Compatibilité salle blanche
Capteurs non métalliques adaptés aux environnements ultraclean, installables aussi bien sur des conduites rigides que sur des flexibles.
Mesure de haute précision
Détection fiable de très faibles débits et suivi précis des variations nécessaires aux étapes critiques de gravure, nettoyage ou dosage.
Stabilité et durabilité
Mesure insensible aux acides agressifs, sans usure et sans dérive, assurant une performance stable sur le long terme.
Surveillance avancée des process
Solutions d’analyse permettant la mesure continue des concentrations et propriétés des liquides utilisés pendant la fabrication des circuits.
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