Dans l’industrie des semi-conducteurs, la propreté absolue et la maîtrise des fluides ultra purs sont des conditions indispensables au bon déroulement de la production. C’est pourquoi la technologie de mesure non intrusive par ultrasons s’impose comme une solution idéale. Les capteurs se fixent directement à l’extérieur des conduites et n’entrent jamais en contact avec les liquides en circulation, ce qui élimine tout risque de contamination et garantit une conformité totale avec les exigences des salles blanches. Cette approche présente un autre avantage déterminant : l’absence d’usure liée aux fluides agressifs utilisés dans les étapes de décapage ou de nettoyage, tels que les acides et solutions chimiques spécifiques. La fiabilité reste constante, même sur des installations fonctionnant en continu. Des systèmes de mesure spécialement conçus pour les environnements sensibles permettent également d’équiper des conduites rigides comme des flexibles, tout en assurant une précision élevée, notamment pour les très faibles débits indispensables aux process de microfabrication. Les solutions d’analyse de process associées, basées sur l’ultrason ou l’optique, permettent de suivre en temps réel la concentration des liquides employés dans les différentes phases de fabrication des circuits imprimés. Cela contribue à optimiser les procédés, à réduire les risques d’erreur et à garantir une qualité constante du produit final.
AVANTAGES POUR LE SECTEUR SEMI-conducteurs
Protection des fluides ultra purs en salle blanche
Aucun contact avec produits critiques.
Mesure très haute précision à faible débit
Adaptée aux procédés de gravure et de nettoyage.
Compatibilité avec matériaux plastiques techniques (PFA, PVDF)
Fonctionne sur conduites spécifiques à l’industrie microélectronique.
Surveillance continue des procédés avancés
Permet un contrôle fin des variations chimiques.
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