Semi-conducteurs
cas d’application
un besoin spécifique ?
Décrivez vos conditions process, votre canalisation et votre produit, un expert vous répondra.
Mesure de débit en salle blanche
Les microprocesseurs sont fabriqués dans de vastes usines de semi-conducteurs où les tranches de silicium ultrapures subissent une succession de traitements chimiques et physico-chimiques. Ces étapes utilisent de l’eau ultra-pure, plusieurs acides et divers réactifs spécialisés, tous distribués depuis des réservoirs dédiés via un réseau de conduites rigoureusement contrôlé.
Jusqu’à présent, la consommation de ces liquides était évaluée principalement par le niveau des réservoirs. Mais pour optimiser le pilotage du process, sécuriser la production et renforcer les mesures de protection environnementale, une mesure directe et en temps réel était nécessaire. Dans un environnement où la moindre contamination ionique peut compromettre l’intégrité des wafers, il est impératif d’éliminer tout contact entre les instruments de mesure et les fluides.
Pour répondre à ces exigences, les ingénieurs ont adopté une solution de mesure externe par ultrasons, fixée à l’extérieur des conduites ou même des flexibles, sans aucune pièce métallique en contact avec le fluide. Cette approche exclut totalement le risque de contamination, tout en garantissant une stabilité de mesure remarquable, même en présence d’acides agressifs utilisés pour le décapage chimique. Elle permet également de mesurer des débits très faibles, de quelques litres par heure, avec une précision élevée.
Cette logique d’instrumentation sans contact présente des similitudes directes avec la mesure de débit avec une hygiène absolue dans l’industrie pharmaceutique, où la maîtrise de l’eau ultrapure impose également des capteurs externes garantissant propreté, stabilité et sécurité du procédé.
Avantages
- Aucun risque de contamination des liquides ultrapurs grâce à l’utilisation de capteurs non intrusifs dépourvus de métal
- Installation des systèmes de mesure sans travaux sur les conduites, y compris sur les conduites flexibles
- Technologie de mesure non intrusive totalement insensible aux acides agressifs et aux particules solides
- Optimisation des process grâce à une maîtrise complète et précise des consommations
- Mesures fiables et très précises, même avec des débits très faibles de quelques litres par heure
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Mesure de débit en salle blanche
Les microprocesseurs sont fabriqués dans de vastes usines de semi-conducteurs où les tranches de silicium ultrapures subissent une succession de traitements chimiques et physico-chimiques. Ces étapes utilisent de l’eau ultra-pure, plusieurs acides et divers réactifs spécialisés, tous distribués depuis des réservoirs dédiés via un réseau de conduites rigoureusement contrôlé.
Jusqu’à présent, la consommation de ces liquides était évaluée principalement par le niveau des réservoirs. Mais pour optimiser le pilotage du process, sécuriser la production et renforcer les mesures de protection environnementale, une mesure directe et en temps réel était nécessaire. Dans un environnement où la moindre contamination ionique peut compromettre l’intégrité des wafers, il est impératif d’éliminer tout contact entre les instruments de mesure et les fluides.
Pour répondre à ces exigences, les ingénieurs ont adopté une solution de mesure externe par ultrasons, fixée à l’extérieur des conduites ou même des flexibles, sans aucune pièce métallique en contact avec le fluide. Cette approche exclut totalement le risque de contamination, tout en garantissant une stabilité de mesure remarquable, même en présence d’acides agressifs utilisés pour le décapage chimique. Elle permet également de mesurer des débits très faibles, de quelques litres par heure, avec une précision élevée.
Cette logique d’instrumentation sans contact présente des similitudes directes avec la mesure de débit avec une hygiène absolue dans l’industrie pharmaceutique, où la maîtrise de l’eau ultrapure impose également des capteurs externes garantissant propreté, stabilité et sécurité du procédé.
Avantages
- Aucun risque de contamination des liquides ultrapurs grâce à l’utilisation de capteurs non intrusifs dépourvus de métal
- Installation des systèmes de mesure sans travaux sur les conduites, y compris sur les conduites flexibles
- Technologie de mesure non intrusive totalement insensible aux acides agressifs et aux particules solides
- Optimisation des process grâce à une maîtrise complète et précise des consommations
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